适用晶圆尺寸:320mm
机器人类型:晶圆传输机器人
运动范围:320mm
重复定位精度:±0.02mm
最大负载能力:5kg
控制系统:高性能PLC控制器
驱动方式:伺服电机驱动
防护等级:IP65
工作温度范围:-20°C ~ +60°C
工作湿度范围:10% ~ 90% (无冷凝)
Dynax 65AX-089 320mm晶圆传输机器人套装是专为半导体制造行业设计的高精度自动化设备。其采用先进的伺服电机驱动系统，能够实现精确的晶圆传输，确保每一步操作都达到最高标准。该套装具备±0.01mm的定位精度和±0.005mm的重复定位精度，确保了传输过程中的高稳定性。最大传输速度可达500mm/s，负载能力为10kg，适用于多种半导体制造场景。此外，该机器人套装还配备了高性能PLC控制器，可实现灵活的编程控制和实时监控。防护等级达到IP65，能够在恶劣环境下稳定运行。工作温度范围为-20℃至+60℃，存储温度范围为-30℃至+80℃，确保了设备在不同环境下的可靠性和耐用性。整体重量约为50kg，便于安装和维护。
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